X射线光电子能谱（XPS或ESCA）以X－射线为激发源，被测电子为X－射线光电子，其能量范围在100-300eV，这些电子主要来自原子的内壳层。主要应用于固体材料的电子结构研究。自从它的创始人，瑞典Uppsala大学教授Kai Siegbahn及其他的研究小组于60年代发现这些来自内壳层的光电子的精确结合能随元素的化学环境的不同而漂移的现象以后，XPS（虽然50年代就又了这种谱议）才真正地开始广泛地应用在化学分析中。
　　X射线光电子能谱主要用于固体样品表面的组成、化学状态分析。能进行定性、半定量及价态分析。广泛应用于聚合物、无机化合物、有机化合物、催化剂、涂层材料、纳米材料、矿石等各种材料的研究，以及腐蚀、摩擦、润滑、燃烧、粘接、催化、包覆、氧化等过程的研究。