大型仪器设备介绍
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扫描电镜、能谱仪及背散射取向分析系统

LEO-1450型扫描电镜的技术参数如下:
  工作电压为200V~300V;
  分辨率3.5nm;
  5轴马达样品台,全计算机控制;
  样品台移动范围:X: 100mm;Y: 125mm;Z: 35mm,倾转对中;
  能谱仪(Kevex SuperDry)电制冷超薄窗口探头;
  分辨率139eV(MnK2);
  可分析元素范围B~U;
  背散射取向分析系统EBSD(丹麦HKL Channel4),空间分辨率0.1m;
  测定速度10个取向/秒。


主要功能及应用范围:
  各种晶体材料的结构、取向的确定;进行取向成像;取向差、转轴分布;取向的极图、反极图、ODF表示(用于结构及取向分析,也是本仪器设备的特色)。
  扫描电镜:二次电子像,背散射电子像(用于形貌分析)
  能谱仪:可分析B、C、N、O等轻元素,进行点、线、面分析;同时获取10个以上不同元素的成分信息(线、面分析时),(用于成分分析)
  背散射取向分析系统:
  各种晶体材料的结构,取向的确定;取向成像,取向差,转轴分布,取向极图;反极图,ODF表示(用于结构与取向分析,也是本仪器设备的特色)。

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