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| 微波等离子体CVD系统 |
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| 仪器设备名称 |
微波等离子体CVD系统
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| 规格型号 |
MPG—2050C；5kw |
| 仪器设备单价 （万元） |
91.12 |
生产厂商 |
成都化宇微波技术有限公司 |
| 启用日期 |
2001年 |
运行状况 |
良好 |
| 联系人 |
刘亚东 |
联系电话 |
010-62333720 |
| E-mail |
test@ustbtest.com |
| 计量认证 |
是（ ）否（ ） |
实验室认可 |
是（ ）否（ ） |
服务收费标准
（参考价格） |
25— 50元/小时
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服务时段 |
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| 主要规格及技术指标： |
金刚石颗粒尺寸：100nm—50μm
沉积气氛：富氢
沉积面积：<2.5英寸
均匀程度：>80%（最大面积）
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| 主要功能及应用： |
| 在各种衬底上沉积纳米级至微米级高质量金刚石薄膜 |
| 主要附件： |
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| 对样品的要求： |
试样要求：最长方向尺寸不超过2.5英寸
厚度小于30mm
耐热：高于500℃
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| 机组简介： |
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