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纳米显微力学探针是研究材料微区力学性能的有力工具。
主要功能：
1.测定各种薄膜材料包括离子注入材料、化学镀、气相沉积、多层膜、超硬膜、表面改性等材料的硬度和弹性模量；
2.测定多相金属材料、复合材料中某一相的硬度和弹性模量及界面区域的硬度分布；
3.测定材料的蠕变和应变速率敏感系数；
4.测定材料的硬化指数；
5.通过测量压痕的裂纹长度可以得到材料的断裂韧性；
6.通过推出法测定复合材料的界面性能，可以得到界面剪切强度；
7.结合有限元方法可计算材料的屈服强度；
8.结合划痕附件可测量薄膜的结合强度和摩擦系数；
9.在集成电路、微电子及生物材料领域也有应用。纳米显微力学探针的应用领域还在不断扩大。充分利用现有的硬件和软件，不断设计新的附件和应用软件必将开发出更多的新功能。
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