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多功能磁控溅射镀膜机
 仪器设备名称 多功能磁控溅射镀膜机
 规格型号 KYKY-TY-2
 仪器设备单价 (万元) 60  生产厂商 中科集团北京仪器研制中心
 启用日期 2000年10月  运行状况

良好

 联系人 刘亚东  联系电话 010-62333720
 E-mail test@ustbtest.com
 计量认证 是( )否( )  实验室认可 是( )否( )
 服务收费标准
 (参考价格)
 服务时段
 主要规格及技术指标:
背景真空度可达5×10-5 Pa。基片温度500℃,氩气压强0.1Pa—5Pa,基片大小φ50mm以下。
 主要功能及应用:

能够制备金属、磁性材料、铁电材料、压电材料薄膜。

 主要附件:

 

 对样品的要求:

 

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